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光刻系統

  • MDA-400M光刻機
MDA-400M光刻機

MDA-400M光刻機

MDA-400M光刻機
光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系統,光刻机,紫外曝光机等;
MIDAS爲全球領先的半導體設備供應商,多年來致力于掩模對准光刻機和勻膠機研發與生産,並且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;該公司是目前世界上最早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術研發力量和設備生産能力;並且其設備被衆多著名企業、研發中心、研究所和高校所采用;以優秀的技術、精湛的工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睐。

産地:韓國MIDAS公司,唯一能做到圖形化藍寶石襯底(PSS)光刻機,高性價比
型號:MDA-400M
廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/


MDA-400M

易于操作和安裝,處理各種尺寸的基板,帶觸摸屏面板的PLC控制

?全手動類型

?掩模版尺寸達5英寸

?基板尺寸爲4英寸圓形

?均勻光束尺寸4.25*4.25英寸

?光源:紫外线灯,350 W

?光束波长350~450 nm

?光束均勻性<±3%

?365 nm强度 ~25 mW/?

?手動對准

?对准精度1 um

?操作模式:軟、硬、真空接觸和接近

?工藝分辨率 1 um@1 um PR厚度,帶真空觸點

?尺寸(mm)1080(寬)*1060(深)*1580(高)



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