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超高真空組件

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等離子體原子/離子源

等離子體原子/離子源
我司提供等離子體源是通過將氣體分離來産生感應耦合等離子體,包括氮氣,氧氣和氫氣等分子氣體。使用1個射頻線圈(頻率13.56MHz),能量將轉化爲等離子體,這會産生僅具有最低離子能量的”軟”等離子體。
我司提供的這款電子束蒸發源是由高質量,完全與高真空兼容材料構成,並且可以烘烤至250℃。


應用範圍:
氧化物
氮化物
摻雜

配置參數:
多種型號不同功率RF等粒離子體源可選;
在等離子體源終端位置可添加離子束加熱器
自動匹配網絡
等粒子體監測
手动/自动 挡板
放電管
适用气体,如O2, N2, H2, CH4等
占用空間小
冷卻水流量低,
氣體流速可控
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