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超高真空組件

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射頻發生器 射频电源

市场上最新、最先进的射頻發生器

射頻發生器從2MHz100MHz,功率從100W10kW,帶有頻率調諧、脈沖和操作面板

使用最新LDMOS器件, 到达最稳定的射频性能

滿足大多數需求的靈活用戶界面

高級功能是標准配置!

采用最新的LDMOS場效應管技術,可在半導體和工業鍍膜應用中的極端動態負載下可靠工作。

擁有廣泛的功率和頻率範圍,允許用戶在一個平台內滿足您的所有需求。

可在廣泛的配置(2, 13, 274060MHz100W10kW),并配备了行业领先的组件和子组件,我们射頻發生器最大限度地提高可靠性和产量。

從高穩定射頻平台提高過程控制

可靠性穩健設計,縮短停機時間

易于集成和控制

特征:

高穩定射頻

?頻率調諧

?電弧管理

?脈沖

?CEX/

?CEX相移

?前操作面板

?射頻功率放大

射頻發生器产品范围:

從毫瓦到几十千瓦的固态

射频管設計從1000W---200kW

頻率範圍高達350MHz

集成固態和管設計

交直流電源設計

高壓、大功率

單相和三相設計

模擬電路設計

控制電路、故障檢測、計量等。

信號調節

遙控接口

專用硬件設計

特定于系統的自定義軟件設計

機械包裝

自定義CAD/CAM設計

快速成型

應用的設備:

PECVD設備

?PVD/磁控濺射機

?刻蚀設備

?工業鍍膜

射頻發生器的主要用户:

65kW CW211MHz,水冷四極管放大器,

--------布魯克海文國家實驗室(BNL),國家同步加速器光源(NSLS)。

55kW CW176MHz,水冷四極放大器,

-------杜克大學,自由電子激光器(FEL

4kW CW52MHz,水冷固態放大器,

-------布魯克海文國家實驗室(BNL),國家同步加速器光源(NSLS

123.5kW CW196MHz,水冷固態放大器

-------布魯克海文國家實驗室BNL,相對論重離子對撞機(RHIC

11500W寬帶、1-30MHz、水冷、“A”級射頻放大器,

------布魯克海文國家實驗室(BNL)相對論重離子對撞機(RHIC

620kW長脈沖,402MHz,風冷四極放大器

------勞倫斯伯克利國家實驗室(LBNL)散裂中子源(SNS

380kW長脈沖,2MHz,風冷四極放大器

-----LBLSNS)和橡樹嶺國家實驗室(ORNL)的(SNS

8kW CW211MHz,水冷固態放大器

------布魯克海文國家實驗室(BNL),國家同步加速器光源(NSLS

2kW CW200MHz,風冷固態放大器-------康奈爾大學

20kW CW27MHz,风冷固态,移动射頻發生器-------KAI技術公司

25kW CW18-32MHz,自動調諧,水冷,四極射頻放大器,

------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),,(FlerovLab

15kW CW11-12MHz,自動調諧,水冷,三極射頻放大器

-------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),(FlerovLab

4個双300W輸出,88-108MHz,用于調頻發射機-----NAVAIR Spiral 3項目

12kW CW,101MHz水冷三極射頻放大器---------華中科技大學

100kW CW1.0MHz,水冷,四極射頻放大器------華中科技大學

45kW CW7.210.5MHz, 水冷,三極射頻放大器--------JINR(弗萊羅夫實驗室)

15kW CW,寬帶(35-65MHz),固態,水冷射頻放大器--------印度ITER

120kW CW48MHz,水冷,四極射頻放大器-------印度的IUAC

30kW CW97MHz,水冷,三極管射頻放大器-----印度的IUAC

3kW CW13.56射頻放大器和匹配網絡----印度IPR

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